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產品詳細說明
4-inch落地型四頭式旋轉塗佈機 (Floor-standing 4-bowls Spin Coater)
規格簡介:
●外觀尺寸:1700mm(W)x1000mm(D)x1850mm(H)。
●基材:2” or 4” Substrate。
●手動放片/自動供料
●供料系統:自動供料手臂2組
●含基板背洗與中心對位功能
●主軸轉速:50~8,000 rpm (±5rpm)。
●驅動:AC Servo Motor
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。
詳細旋轉塗佈介紹與均勻性測試請參考型錄下載區檔案說明,可針對客戶需求安排塗佈測試。